行政機關及其工作人員對其實施行政許可過程中的上述違法行為，承擔的是行政法律責任。追究這一行政法律責任的機關有兩個：一是上級行政機關。上級行政機關對下級行政機關的日常工作負有領導和監督責任，下級行政機關及其工作人員實施行政許可的活動當然也是其領導和監督的重要內容，一旦發現有違法行為，上級行政機關即有權予以處理。二是監察機關。監察機關是人民政府行使監察職能的機關，依法對行政機關、國家公務員和行政機關任命的其他人員實施監察。根據行政監察法的有關規定，監察機關有權依法檢查行政機關及其工作人員遵守和執行法律、法規和人民政府的決定和命令中的問題，并有權根據檢查、調查結果，作出監察決定或者對行政機關提出監察建議。據此，對行政機關及其工作人員是否嚴格依法實施行政許可，就是監察機關行使監察權的重要內容。如果發現行政機關及其工作人員有上述違法情形之一的，監察機關即可予以處理。
　　上級行政機關或者監察機關對行政機關及其工作人員實施行政許可中的上述違法行為，依法處理的方式是責令改正；情節嚴重的，對直接負責的主管人員和其他直接責任人員依法給予行政處分。責令改正是指責令有違法行為的行政機關及其工作人員改正其違法行為。行政處分是對違反行政紀律的人員給予的處分。根據國家公務員暫行條例第三十三條的規定，行政處分分為警告、記過、記大過、降級、撤職、開除六種。對行政機關及其工作人員在實施行政許可過程中的上述違法行為，情節嚴重的，監察機關或者上級行政機關可以對直接負責的主管人員和其他直接責任人員依法根據不同情況作出警告、記過、記大過、降級、撤職、開除等不同處分。

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